高純氣體輸送系統

 

高純氣體輸送系統

在泛半導體產業的刻蝕、擴散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關鍵制程環節都需要使用各種超高純氣體，由于超高純氣體在生產過程中與產品直接接觸，因此超高純氣體輸送系統是集成電路、平板顯示、半導體照明、太陽能光伏和光纖制造等泛半導體行業中最關鍵的廠務系統之一。

 

                                                                                                                                                                                                                                

如何避免輸送過程中系統對超高純氣體的二次污染便成為超高純氣體輸送系統的首要考量。另外，泛半導體行業所使用的各類特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等各種危險特性。同時，由于泛半導體行業工藝復雜先進，對超高純氣體的質量保障和系統穩定運行提出了嚴苛的要求。因此，在超高純氣體輸送系統的設計、安裝和運行過程中需要充分考慮潔凈度、安全性、穩定性等關鍵因素。